激光干涉儀的主要的應用之一就是機床精度檢測。激光干涉儀可以通過與不同的光學組件結合，對機床進行動態性能檢測，如可以測量機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態參量。其線性定位測量的精度是0.5ppm，可以滿足現在所有類型數控機床精度檢測，它可以棄普通車間進行應用，具有更強的環境適應能力，同時可進行動態高速測量，配以相應元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等。
 

SJ6000激光干涉儀測量分辨率0.01″，系統測量精度為±1″，基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。

系統組件

1、激光主機

精準——激光頻率穩定度高，可溯源至國家標準。

SJ6800激光主機由DC12V電源適配器供電，輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。

支持USB通信接口，可與計算機高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。

配備的SCSI接口，可提供外部觸發信號輸入和正交信號輸出，以及其它擴展應用。

2、EC20環境補償單元

可靠——對空氣溫度、濕度、氣壓和材料溫度進行自動環境補償。

激光干涉儀是以激光波長為載體，測量過程中環境條件（空氣溫度、濕度、氣壓）的變化會影響激光波長。

EC20環境補償單元可實時檢測環境條件的變化，同事進行激光波長補償。

EC20環境補償單元可連接三個材料溫度探頭，監測被測對象其材料的溫度變化，同事進行材料的熱膨脹補償。

EC20環境補償單元采用低功耗設計，無需額外的供電電源，其工作電源集成于USB接口。

為了方便現場使用，EC20環境補償單元配備磁性掛板，溫度探頭的標準線長5m，亦可定制線長。

3、三腳架及便攜箱

激光干涉儀檢測機床精度原理：邁克爾遜干涉原理

1、從SJ6000激光干涉儀主機出射的激光束（圓偏振光）通過分光鏡后，將分成兩束激光（線偏振光）；

2、兩束激光分別經由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過分光鏡后進行疊加，由于兩束激光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件；

3、角錐反射鏡B每移動半個激光波長的距離，將會產生一次完整的明暗干涉現象。測量距離等于干涉條紋數乘以激光半波長。

產品參數

產品型號： SJ6800

產品名稱： 激光干涉儀

穩頻方式： 雙頻激光雙縱模熱穩頻

穩頻精度： 0.04ppm

測量距離：≤（0-80）m（無需遠距離線性附件）

測量分辨力：1nm

測量至大速度：4m/s

線性測量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃

角度測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

主要特點：絕對測量、恒測力、無阿貝誤差