中圖儀器光學(xué)3d表面輪廓儀檢測(cè)可以在無(wú)外接氣源的條件下可穩(wěn)定工作，在車間也能正常工作。因?yàn)槠潆p通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)，既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，也可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)，同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng)。
重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)：SuperView W1系列
XY平臺(tái)：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備，均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程：100mm，電動(dòng)
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
影像系統(tǒng)：1024×1024
光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
臺(tái)階高測(cè)量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ
可測(cè)樣品反射率：0.05%-100%
水平調(diào)整：±5°手動(dòng)
粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm
主要特點(diǎn)：非接觸式無(wú)損檢測(cè)，一鍵分析，測(cè)量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
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深圳市中圖儀器股份有限公司是國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，致力于精密測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐，專業(yè)覆蓋面廣，專項(xiàng)技術(shù)能力強(qiáng)，具備了從納米到百米為用戶提供精密測(cè)量解決方案的能力。
【應(yīng)用】
應(yīng)用案例：手機(jī)曲面屏玻璃的檢測(cè)
各種光學(xué)鏡片和玻璃等超精密加工產(chǎn)物，其表面質(zhì)量等級(jí)非常高。如果采用接觸式的輪廓儀，會(huì)劃傷器件表面，而一般的非接觸式光學(xué)影像方法，也沒(méi)有辦法克服它的高透明度特性。中圖儀器SuperViewW1為玻璃和光學(xué)鏡片的表面質(zhì)量提供了標(biāo)準(zhǔn)解決方案。
生活中智能手機(jī)、平板電腦、智能手表等日常的智能產(chǎn)品中常見(jiàn)的玻璃屏，需要對(duì)其表面粗糙度和輪廓進(jìn)行檢測(cè)。以手機(jī)玻璃屏為例：
中圖儀器以白光干涉測(cè)量技術(shù)為基礎(chǔ)而研發(fā)生產(chǎn)出的SuperViewW1光學(xué)3d表面輪廓儀檢測(cè)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行高品質(zhì)監(jiān)控時(shí)不需要取下產(chǎn)品或停止生產(chǎn)，而且采用的是非接觸式光學(xué)測(cè)量，在獲得實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)的同時(shí)，不會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線檢測(cè)，沒(méi)有滯后性，從而減少不合格品，對(duì)表面缺陷檢測(cè)亦如此。
