中圖白光干涉儀3D輪廓儀屬于3D測量領(lǐng)域檢測的高精度檢測儀器之一，其在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，可根據(jù)客戶精度要求，將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法，并可依據(jù)表面粗糙程度，選擇不同步距進(jìn)行速度調(diào)節(jié)。
中圖白光干涉儀3D輪廓儀采用經(jīng)國家計(jì)量檢測研究院校準(zhǔn)的臺階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測量標(biāo)準(zhǔn)件，采用該標(biāo)準(zhǔn)片對儀器的檢測精度和重復(fù)性進(jìn)行驗(yàn)收，其中臺階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右，測量精度要求為<0.75%，重復(fù)精度要求<0.1%（1σ）（測量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差），主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓等。
在3C領(lǐng)域，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；
在LED行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；
在光纖通信行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度；
在集成電路行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；
在EMES行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度；
在軍事領(lǐng)域，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度；
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由于鏡頭視野較小，要想測量物體整個(gè)區(qū)域的表面情況，只能用自動拼接測量功能，但耗時(shí)較多，中圖儀器白光干涉儀這時(shí)候會用自動多區(qū)域測量功能，在樣品表面抽取多個(gè)測量區(qū)域進(jìn)行測量，從而對樣品進(jìn)行評估分析。
測量方法很簡單。
1.點(diǎn)擊XY復(fù)位，使得鏡頭復(fù)位到載物臺中心
2.將被測物放置在載物臺夾具上，被測物中心大致和載物臺中心重合；3.確認(rèn)電機(jī)連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿足測量條件；4.使用操縱桿搖桿旋鈕調(diào)節(jié)鏡頭高度，找到干涉條紋；5.設(shè)置好掃描方式和掃描范圍；6.點(diǎn)擊選項(xiàng)圖標(biāo)，確認(rèn)自動找條紋上下限無誤；7.點(diǎn)擊多區(qū)域測量圖標(biāo)，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區(qū)域形狀；9.根據(jù)被測物形狀和尺寸，"形狀”欄選擇“橢圓平面”，X和Y方向按需設(shè)置；10.點(diǎn)擊彈出框右下角的“開始”圖標(biāo)，儀器即自動完成多個(gè)區(qū)域的對焦、找條紋、掃面等操作。
