SuperViewW13d干涉光學輪廓儀其3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學干涉技術組成的測量系統，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統，保證了測量精度和測量重復性。測量數據自動統計，可視化窗口，結合自定義分析模板的自動化測量功能，實現了快速批量測量的功能，自動完成多區域的測量與分析過程。

 

SuperViewW13d干涉光學輪廓儀測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測，具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數涵蓋面廣的優點。它特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。而其雙重防撞保護措施能更好的保護儀器，確保精度的準確。

（1）軟件防撞保護ZSTOP

即在Z軸上設置停止位，設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當鏡頭運動到該位置時，就立刻停止不再向下運動，起到保護樣品和鏡頭的作用。

（2）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發感應器，鏡頭與樣品表面變為軟接觸，并觸發緊急停止開關，不再響應向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護。

SuperViewW13d干涉光學輪廓儀基于白光干涉原理，不僅用于零件的檢測，還是一種在生產中用于檢測軋制產品表面缺陷的設備，能完成缺陷尺寸的在線檢測。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

應用