--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
- 影像系統(tǒng) 1024×1024
- 光學(xué)ZOOM 0.5×,(0.75×,1×可選)
- 干涉物鏡 10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
- XY平臺 尺寸320×200mm,行程140×110mm
- Z軸行程 100mm,電動
- Z向掃描范圍 10mm
- Z向分辨率 0.nm
- 可測樣品反射率 0.05%-100%
- 粗糙度RMS重復(fù)性 0.005nm
- 臺階高測量 準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ
--- 產(chǎn)品詳情 ---
如果采用接觸式輪廓儀來測量表面質(zhì)量等級非常高的玻璃和各種光學(xué)鏡片等超精密加工產(chǎn)物,會劃傷器件表面,而一般的非接觸式光學(xué)測量方法沒有辦法克服“高透明度特性”。為滿足客戶需求,深圳市中圖儀器股份有限公司以白光干涉技術(shù)為基礎(chǔ),研發(fā)生產(chǎn)出達(dá)到納米級檢測精度的SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀,主要用于樣品表面微觀形貌的檢測,能快速獲得被測工件表面三維形貌圖像和數(shù)據(jù),為玻璃和光學(xué)鏡片的表面質(zhì)量提供了標(biāo)準(zhǔn)解決方案。
產(chǎn)品參數(shù)
光學(xué)3D表面輪廓儀的應(yīng)用
- 玻璃屏檢測
生活中智能手表、平板電腦、智能手機等產(chǎn)品中常見的玻璃屏,需要檢測其表面粗糙度和輪廓。以手機玻璃屏為例:
2. 玻璃表面臺階檢測
透明玻璃表面鍍有一層金屬膜,膜層厚度的精度都是在納米級別的,而且因為其非透明特性,薄膜測厚儀測不了膜層厚度。不管是非接觸式光學(xué)儀器還是接觸式臺階儀,都會存在測量誤差,而SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,測量精度達(dá)到亞納米級,能對膜層厚度進(jìn)行一鍵測量。
3. 光學(xué)透鏡檢測
球面透鏡在可見光領(lǐng)域是一種基礎(chǔ)光學(xué)器件,其光的傳播效果受曲率半徑和表面粗糙度的影響,中圖儀器SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀可以對這兩項參數(shù)同時進(jìn)行檢測。
SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀采用CCD取代了顯微鏡中的目鏡,因而可直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。
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