--- 產品參數 ---
- 注釋 如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。
--- 產品詳情 ---
中圖儀器CP系列微納樣品接觸式微觀表面臺階測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。
工作過程
測量時通過使用2μm半徑的金剛石針尖在超精密位移臺移動樣品時掃描其表面,測針的垂直位移距離被轉換為與特征尺寸相匹配的電信號并最終轉換為數字點云信號,數據點云信號在分析軟件中呈現并使用不同的分析工具來獲取相應的臺階高或粗糙度等有關表面質量的數據。
結構
主要組成部分
1、測量系統
(1)單拱龍門式設計,結構穩定性好,而且降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。
(2)線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
(3)傳感器設計使得在單一平臺上即可實現超微力和正常力測量。測力恒定可調,以適應硬質或軟質材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制,實現無接觸損傷的精準接觸式測量。
2、工件臺
(1)精密的XY平臺結合360°連續旋轉電動旋轉臺,可以對樣品的位置以及角度進行調節,三維位置均可以調節,利于樣品調整。
(2)超高直線度導軌,有效避免運動中的細微抖動,提高掃描精度,真是反映工件微小形貌。
3、成像系統
500萬像素高分辨率彩色攝像機,即時進行高精度定位測量。可以將探針的形貌圖像傳輸到控制電腦上,使得測量更加直觀。
4、軟件系統
測量軟件包含多個模塊。
5、減震系統
防止微小震動對測量結果的影響,使實驗數據更加準確。
CP系列微納樣品接觸式微觀表面臺階測量儀對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業領域內的工業企業與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數的準確表征,對于相關材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。
產品功能
1.參數測量功能
1)臺階高度:能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;
2)粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數;
3)翹曲與形狀:能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,如在半導體晶圓制造過程中,因多層沉積層結構中層間不匹配所產生的翹曲或形狀變化,或者類似透鏡在內的結構高度和曲率半徑。
2.數采與分析系統
1)自定義測量模式:支持用戶以自定義輸入坐標位置或相對位移量的方式來設定掃描路徑的測量模式;
2)導航圖智能測量模式:支持用戶結合導航圖、標定數據、即時圖像以智能化生成移動命令方式來實現掃描的測量模式。
3)SPC統計分析:支持對不同種類被測件進行多種指標參數的分析,針對批量樣品的測量數據提供SPC圖表以統計數據的變化趨勢。
3.光學導航功能
配備了500W像素的彩色相機,可實時將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸到軟件中顯示,進行即時的高精度定位測量。
4.樣品空間姿態調節功能
CP系列微納樣品接觸式微觀表面臺階測量儀配備了精密XY位移臺、360°電動旋轉平臺和電動升降Z軸,可對樣品的XYZ、角度等空間姿態進行調節,提高測量精度及效率。
性能特點
1.亞埃級位移傳感器
具有亞埃級分辨率,結合單拱龍門式設計降低環境噪聲干擾,確保儀器具有良好的測量精度及重復性;
2.超微力恒力傳感器
1-50mg可調,以適應硬質或軟質樣品表面,采用超低慣量設計和微小電磁力控制,實現無接觸損傷的接觸式測量;
3.超平掃描平臺
系統配有超高直線度導軌,杜絕運動中的細微抖動,真實地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌。
典型應用
在太陽能光伏行業的應用
臺階儀通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優點。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。針對測量ITO導電薄膜的應用場景,CP200臺階儀提供如下便捷功能:
1)結合了360°旋轉臺的全電動載物臺,能夠快速定位到測量標志位;
2)對于批量樣件,提供自定義多區域測量功能,實現一鍵多點位測量;
3)提供SPC統計分析功能,直觀分析測量數值變化趨勢;
為你推薦
-
AI智能測量影像儀2025-01-17 15:03
產品型號:Novator系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
機床激光干涉測量校準系統2025-01-17 15:00
產品型號:SJ6000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
一鍵精密加工件尺寸測量儀2025-01-17 14:58
產品型號:VX8000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
中圖儀器鎢燈絲掃描電鏡2025-01-17 14:57
產品型號:CEM3000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
轉盤共聚焦光學成像系統2025-01-16 14:56
產品型號:VT6000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
國內精密高精度測長機2025-01-16 14:54
產品型號:SJ5100系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
高性能激光跟蹤儀2025-01-16 14:53
產品型號:GTS系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
三次元坐標測量設備2025-01-16 14:49
產品型號:Mars系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
電鏡掃描儀器 材料分析掃描電鏡2025-01-16 14:47
產品型號:CEM3000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
全自動光柵式長度測量儀2025-01-15 17:31
產品型號:SJ5100系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。
-
關于機床測頭常見的提問及回答2025-01-17 14:55
-
關于臺階儀常見的提問及回答2025-01-17 14:54
-
聚全力,贏增長,沖未來|中圖儀器2025年年會盛典圓滿舉辦2025-01-16 11:06
2025年1月14日,中圖儀器在深圳隆重舉辦了主題為“聚全力,贏增長,沖未來”的年會盛典。此次年會不僅是對過去一年工作的總結與表彰,更是展望未來、制定戰略的重要時刻。來自全國各地的員工及家屬齊聚一堂,共同見證了這場盛典。慶典·董事長致辭深圳市中圖儀器股份有限公司董事長馬俊杰在年會致辭中表示:“過去的2024年,公司在技術創新、市場拓展和客戶滿意度等方面均取得66瀏覽量 -
關于激光干涉儀的常見提問及回答2025-01-15 17:05
-
關于粗糙度輪廓儀一體機的常見提問及回答2025-01-09 16:06
-
關于白光干涉儀的常見提問及回答2025-01-09 16:02
-
關于激光跟蹤儀的常見提問及回答2025-01-09 16:01
-
關于三坐標測量機的常見問題及回答2025-01-02 13:41
-
關于影像儀的常見問題及回答2024-12-30 14:21
-
關于閃測儀常見的問題及回答2024-12-30 14:19
-
方案上新|軸承行業測量解決方案免費下載2024-11-28 16:42
-
大尺寸部件安裝精度測量:GTS激光跟蹤儀的解決方案2024-11-20 14:52
-
輪廓測長|中圖儀器SJ51系列測長機實現高精度二維長度測量2024-01-25 15:37
-
顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準捕捉三維形貌2024-01-25 15:34
-
激光干涉儀檢測機床的方法(以線性檢測為例)2023-10-27 15:21
-
納米級測量儀器:窺探微觀世界的利器2023-10-11 13:49
-
微納共聚焦顯微鏡:檢測摩擦學研究的重難點2023-09-22 09:13
-
先進封裝廠關于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26