SJ6000機床激光干涉測量校準儀具有高測量精度和重復性，可以實現非接觸式測量方式，不會對被測量物體造成損傷。它結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

產品配置

SJ6000機床激光干涉測量校準儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

線性測量應用

SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。

動態測量應用

1、基于時間的動態測量

機器運動控制性能評價：

（1）運動控制器PID控制參數測試與設置

（2）高速運動后機器的穩定性測試與評價

（3）高性能運動控制器的微小步幅的測試

振動監視

（1）掃描應用：用于定位精度不重要，但恒速對實現高質量成像非常關鍵的場合

（2）機床應用：典型應用包括要求刀具慢速、平穩輪廓運動的高質量表面精加工

振動頻率分析

（1）被測對象的振動頻率分析

（2）FFT快速傅立葉變換分析

2、基于距離的動態測量

基于距離的動態測量，SJ6000激光干涉儀系統將沿著軸線“飛行"測量，即運動軸在不停頓的情況下以用戶定的間隔進行數據采集。

3、提供脈沖觸發方式采集

CT70正交觸發盒可監控光柵、編碼器、控制器等信號，配合SJ6000激光干涉儀，可實現脈沖觸發啟動采集和連續脈沖觸發采集。適用于運動軸在不停頓的情況下，觸發激光干涉儀按照定的間隔位置進行數據采集。

產品功能

（1）可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

（5）具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環境補償。

SJ6000機床激光干涉測量校準儀非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復雜的運動系統，不僅僅局限于運動導軌，還可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業提高設備性能，減少維護成本和停機時間，為制造業提供了一種精密的測量檢測方式。

部分技術指標

主機

穩頻精度：0.05ppm

動態采集頻率：50 kHz

預熱時間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環境濕度：(0~95)%RH
 

環境補償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)

角度測量范圍：±10°

平面度測量范圍：±1.5mm

直線度測量范圍：±3mm

垂直度測量范圍：±3/M mm/m

便攜箱尺寸：613*460*230mm

標準配置重量：18kg

懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。