KEITHLEY吉時利靜電計6514
型號主要技術指標：
電流測量：<1fA(包含噪聲)～20mA。
電壓測量：10μV(數字分辨率極限，可能含有噪聲)～200V。
電阻測量：10Ω～200GΩ;最低電阻精度優于1%，最高電阻精度優于10%;(使用236、237、238測量，通過加電壓測電流或加電流測電壓實現，不直接顯示阻值)。
電荷測量：10fC(數字分辨率極限，可能含有噪聲)～20μC。
特性插頭：3 Slot Triax
IEEE-488：有
RS-232： 有
Guard ：有
CE ：有
其它：5 1/2精度，替代6512、617-HIQ。
附件：237-ALG-2低噪聲三同軸電纜，鱷魚夾型2m長3插槽三同軸線。
KEITHLEY吉時利靜電計6514具有靈活的接口性能，其電流靈敏度、電荷測量能力、分辨率和速度都優于我們之前的靜電計。內置式IEEE-488、RS-232與數字式I/O接口使它可以很容易地配置為全自動、高速系統，用于低電平測試。
二、KEITHLEY吉時利靜電計6514型特點：
(1)<1fA 噪聲;
(2)電壓測量時，輸入阻抗>200TΩ;
(3)電荷測量范圍：10fC-20μC;
(4)速度可達1200個讀數/秒;
(5)簡易的用戶界面提供開關，計算機以及元件處理器;
(6)主動消除電壓與電流的偏移。
