SuperViewW1白光干涉儀檢測儀器既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配靜音空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩定工作。它以白光干涉儀為原理，結合結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描測量，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。

 

產品特點

1、非接觸式測量：避免物件受損。

2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-10mm。

3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。

4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達到0.1nm。

5、高速數字信號處理器：實現測量僅需要幾秒鐘。

6、掃描儀：采用閉環控制系統。

7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。

8、測量軟件：基于windows操作系統的用戶界面，強大而快速的運算。

軟件功能

(1) 提供多種數據處理方式。

提供校平、鏡像、旋轉等操作調整圖像位置；

提供空間濾波、標準濾波、閾值糾正、去除形狀、頻譜變換等濾波操作對數據進行修正；

提供提取區域、提取剖面、抽取輪廓等操作獲取檢測區域。

(2) 提供多種分析工具。

提供距離、臺階高度等要素測量；

提供點、線、圓弧、角度等特征測量，以及直線度、真圓度等形位公差評定，為用戶展現強大的輪廓分析功能；

提供基于表面的紋理分析，方便地觀察紋理方向與紋理均質性；

提供圖形分析、島嶼分析、分形分析、頂點計數、孔的體積等多種有針對性的分析功能；

提供頻譜分析功能，可獲取幅度和相位信息、平均功率譜密度信息、自相關性等；

提供全面的線粗糙度、面粗糙度的參數分析功能；

提供依據四大國內外標準(ISO/ASME/EUR/GBT)計算的2D，3D參數，參見參數表：

(3) 可視化的工作流模式，數據處理器和結果管理器具有可視工作流程樹圖，在每個節點既可以是數據處理選項也可以是分析結果。

(4) 多樣化的視圖觀察角度，3D視圖可以清晰地查看被測物的每一個特征，并可以在3D視圖、2D投影圖、等高線圖之間任意切換。

(5) 內置多種分析方案，可對特定表面進行一鍵分析，自動生成一組分析結果，節約操作時間；并可自定義方案，將用戶的分析項目組合起來，避免重復操作。

(6) 便捷的同步分析功能，可實時提取表面二維剖面，同步計算更新參數指標，實現對樣品的操作所見即所得。

(7) SuperViewW1白光干涉儀檢測儀器擁有多種報表形式，用戶可根據需要導出分析結果到Word、Pdf等常用辦公軟件中。

SuperViewW1白光干涉儀檢測儀器分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、彎曲變形情況、磨損情況、腐蝕情況、粗糙度、孔隙間隙、表面缺陷、波紋度、臺階高度、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。能夠做到在線監測、數據分析、超差報警、數據存儲等，協助監測人員及時發現缺陷產生的原因。能有效監控相關設備的性能，實現表面質量判定自動化，減少了因表面缺陷而引起的損失。