白光干涉儀表面輪廓儀對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
產(chǎn)品特點
1、非接觸式測量：避免物件受損。
2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-10mm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號處理器：實現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。
6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。
8、測量軟件：基于windows操作系統(tǒng)的用戶界面，強大而快速的運算。
軟件功能
(1) 提供多種數(shù)據(jù)處理方式。
提供校平、鏡像、旋轉(zhuǎn)等操作調(diào)整圖像位置；
提供空間濾波、標準濾波、閾值糾正、去除形狀、頻譜變換等濾波操作對數(shù)據(jù)進行修正；
提供提取區(qū)域、提取剖面、抽取輪廓等操作獲取檢測區(qū)域。
(2) 提供多種分析工具。
提供距離、臺階高度等要素測量；
提供點、線、圓弧、角度等特征測量，以及直線度、真圓度等形位公差評定，為用戶展現(xiàn)強大的輪廓分析功能；
提供基于表面的紋理分析，方便地觀察紋理方向與紋理均質(zhì)性；
提供圖形分析、島嶼分析、分形分析、頂點計數(shù)、孔的體積等多種有針對性的分析功能；
提供頻譜分析功能，可獲取幅度和相位信息、平均功率譜密度信息、自相關(guān)性等；
提供全面的線粗糙度、面粗糙度的參數(shù)分析功能；
提供依據(jù)四大國內(nèi)外標準(ISO/ASME/EUR/GBT)計算的2D，3D參數(shù)，參見參數(shù)表：
(3) 可視化的工作流模式，數(shù)據(jù)處理器和結(jié)果管理器具有可視工作流程樹圖，在每個節(jié)點既可以是數(shù)據(jù)處理選項也可以是分析結(jié)果。
(4) 多樣化的視圖觀察角度，3D視圖可以清晰地查看被測物的每一個特征，并可以在3D視圖、2D投影圖、等高線圖之間任意切換。
(5) 內(nèi)置多種分析方案，可對特定表面進行一鍵分析，自動生成一組分析結(jié)果，節(jié)約操作時間；并可自定義方案，將用戶的分析項目組合起來，避免重復(fù)操作。
(6) 便捷的同步分析功能，可實時提取表面二維剖面，同步計算更新參數(shù)指標，實現(xiàn)對樣品的操作所見即所得。
(7) SuperViewW1白光干涉儀表面輪廓儀擁有多種報表形式，用戶可根據(jù)需要導(dǎo)出分析結(jié)果到Word、Pdf等常用辦公軟件中。
SuperViewW1白光干涉儀表面輪廓儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、彎曲變形情況、磨損情況、腐蝕情況、粗糙度、孔隙間隙、表面缺陷、波紋度、臺階高度、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。能夠做到在線監(jiān)測、數(shù)據(jù)分析、超差報警、數(shù)據(jù)存儲等，協(xié)助監(jiān)測人員及時發(fā)現(xiàn)缺陷產(chǎn)生的原因。能有效監(jiān)控相關(guān)設(shè)備的性能，實現(xiàn)表面質(zhì)量判定自動化，減少了因表面缺陷而引起的損失。
