中圖儀器SJ6000高端激光干涉測(cè)量?jī)x可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)，結(jié)合軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析。儀器以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

產(chǎn)品功能

1.可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；

2.可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

3.可實(shí)現(xiàn)龍門(mén)機(jī)床雙軸同步測(cè)量；

4.可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

5.可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

6.具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

7.支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)

對(duì)機(jī)床精度再校準(zhǔn)
 

SJ6000高端激光干涉測(cè)量?jī)x測(cè)量機(jī)床直角如機(jī)器軸垂直度誤差測(cè)量（數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等），是通過(guò)比較直線度值從而確定兩個(gè)標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度，即在同一基準(zhǔn)上對(duì)兩個(gè)標(biāo)稱正交軸分別進(jìn)行直線度的測(cè)量。然后對(duì)兩個(gè)軸的直線度進(jìn)行比較，得出兩個(gè)軸的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測(cè)量時(shí)反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸，在兩次測(cè)量過(guò)程中既不移動(dòng)、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺測(cè)量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直，而不動(dòng)直線度反射鏡。

量程精度（部分）

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測(cè)量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測(cè)量距離：（0-80）m（無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件）

角度測(cè)量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M μm/m

SJ6000高端激光干涉測(cè)量?jī)x檢測(cè)光刻機(jī)