SJ6000國(guó)產(chǎn)激光干涉儀配備的EC20環(huán)境補(bǔ)償單元，由環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)（內(nèi)置濕度傳感器和氣壓傳感器）、空氣溫度傳感器和3個(gè)材料溫度傳感器組成，可實(shí)現(xiàn)對(duì)空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實(shí)時(shí)高精度檢測(cè)。儀器集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
SJ6000國(guó)產(chǎn)激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
功能廣
（1）可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；
（2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；
（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
（5）SJ6000國(guó)產(chǎn)激光干涉儀具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
技術(shù)規(guī)格
| 穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
| 動(dòng)態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
| 預(yù)熱時(shí)間 | ≤ 6分鐘 |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
| 存儲(chǔ)溫度范圍 | (-20~70)℃ |
| 環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
| 線性測(cè)量距離 | (0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件) |
| 線性測(cè)量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度軸向量程 | (0~15)m |
| 角度測(cè)量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
軟件強(qiáng)
（1）友好的人機(jī)界面；
（2）豐富的應(yīng)用功能模塊；
（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>
（4）簡(jiǎn)潔化的記錄管理；
（5）支持中文、英文和俄文界面；
（6）支持企業(yè)專屬模板定制。
