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上海屹持光電技術有限公司

紅外觀察儀、飛秒激光器、太赫茲相機、太赫茲光譜儀  

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太赫茲分辨率板

型號: P-TTT-2-1200

--- 產品詳情 ---

太赫茲分辨率板P-TTT-2-1200是專門為表征太赫茲成像系統而開發的。它具有2 μm到8 mm橫向尺寸的結構和區域,適用于標準衍射限制系統以及亞波長分辨率的近場成像系統。

分辨率板的襯底基于高阻硅,包含三種不同傳輸強度的導體區域,以及傳輸強度最大的非涂層襯底區域。典型結構包括三條紋結構正交對、西門子星型和同心圓等經典分辨率測試結構。這些典型的結構伴隨著進一步的結構,特別是用于近場成像的目的,如產生局部場約束的超材料結構。此外,還列出了對薄板電阻成像和晶圓掃描應用有幫助的參考領域。

技術參數:

P-TTT-2-1200

襯底材料

High-resistivity FZ silicon, 2-side polished

襯底電阻率

> 10 kOhm cm

目標總尺寸2" x 2" (50 mm x 50 mm)

襯底厚度

525 μm

鍍膜材料

Cr, Au

鍍膜厚度

Cr: 10 nm, 50 nm and 60 nm (in semi-transparent areas)

Au: 50 nm (opaque)

三條紋正交對結構

2 – 1200 μm wide lines & spaces

45° rotated for 2 - 460 μm wide line & spaces

西門子星型

6 mm outer diameter, 18 elements

倒牛頓環

5.6 mm outer diameter

Ring widths from 10 – 500 μm in increasing steps

連續Rsh參考區域

Four areas, each 6.7 mm x 8.3 mm

傾斜的金屬光柵區域

Six areas, each 2 mm x 6.7 mm

Tilting angles: 0°, 18°, 36°, 54°, 72°, 90°

蝴蝶結型陣列超材料

300 μm length, 5μm gap

非對稱雙狹縫陣列超材料

3 μm and 6 μm slit width and spaces

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