中圖儀器SJ5100系列光柵尺測長機(jī)具有高精度、高速度、非接觸式測量等優(yōu)點(diǎn)，是利用光柵的干涉作用，通過光電檢測器將光信號轉(zhuǎn)化為電信號，并經(jīng)過計(jì)算得出被測物體的尺寸。廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、電子制造、半導(dǎo)體生產(chǎn)等領(lǐng)域，常用于工業(yè)生產(chǎn)中對物體長度、角度和位置等參數(shù)的精確測量。其測量精度通常可達(dá)到亞微米級別，可以滿足大多數(shù)工業(yè)生產(chǎn)對尺寸精度的要求。
產(chǎn)品描述
SJ5100系列光柵尺測長機(jī)采用進(jìn)口高精度光柵測量系統(tǒng)、高精密研磨直線導(dǎo)軌、高精度溫度補(bǔ)償系統(tǒng)、雙向恒測力系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種長度參數(shù)的高精度測量。通過高精密研磨導(dǎo)軌保證測量頭座移動的高穩(wěn)定性及超高直線度，采用進(jìn)口高精度光柵測量系統(tǒng)記錄長度方向坐標(biāo)，由計(jì)算機(jī)將光柵數(shù)據(jù)與測力裝置、溫度傳感器的反饋數(shù)據(jù)及阿貝誤差數(shù)據(jù)修正后進(jìn)行數(shù)據(jù)合成（由于導(dǎo)軌較高的直線度，因此阿貝修正造成的儀器誤差小）。按被測件參數(shù)的相關(guān)定義及公式進(jìn)行分析，計(jì)算獲得相關(guān)長度參數(shù)。
操作者裝好被測件，在檢測軟件上選擇被測件的標(biāo)準(zhǔn)和輸入被測件的規(guī)格參數(shù)后，移動頭座接觸被測件，調(diào)整五軸工作臺找到拐點(diǎn)，采樣完成得到測量數(shù)據(jù)，系統(tǒng)可實(shí)時(shí)顯示測量結(jié)果，自動計(jì)算被測件各項(xiàng)參數(shù)（如檢測螺紋規(guī)，則可自動計(jì)算螺紋中徑），并根據(jù)系統(tǒng)內(nèi)置的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫對被測件的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行合格判定，整個測量過程不超過3分鐘，結(jié)束后自動生成結(jié)果及記錄報(bào)表。
儀器主要功能
1.標(biāo)配功能：
檢測量塊&塊規(guī)：（0.1~300mm）；
光滑環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞規(guī)：φ1~φ220mm；
螺紋環(huán)規(guī)：M5~M200（螺距0.8~4mm）
螺紋塞規(guī)：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；
光滑卡規(guī)：內(nèi)卡5~200mm，外卡1~300mm
千分尺校對桿：25~300mm；
塞尺：0.02~1mm
針規(guī)：φ0.1~φ10mm
三針：0.118~6.585mm；
兩點(diǎn)內(nèi)徑千分尺：25~300mm；
2.可選配功能：
小型光滑環(huán)規(guī)：φ0.8~φ5mm；
螺紋環(huán)規(guī)：規(guī)格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；
光滑錐度環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；
光滑錐度塞規(guī)：φ5~φ60mm（長度10~100mm）；φ60~φ200mm（長度≤50mm）；
螺紋錐度環(huán)規(guī)：M5~M200mm（厚度≤50mm）；
螺紋錐度塞規(guī)：M5~M60mm（長度10~100mm）；M60~M200mm（長度≤50mm）；
鋸齒螺紋、梯形螺紋：M3~M400（螺距0.5~6mm）；
花鍵環(huán)塞規(guī)/花鍵及標(biāo)準(zhǔn)齒輪（跨棒距測量）：內(nèi)φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模數(shù)0.8~6mm；
外徑千分尺示值誤差手動校準(zhǔn)：25~300mm；
數(shù)顯及游標(biāo)卡尺示值誤差手動校準(zhǔn)：75~300mm；
深度千分尺示值誤差手動校準(zhǔn)：0~25、25~50、50~75mm；
三爪內(nèi)徑千分尺手動校準(zhǔn)：φ6~φ200mm；
表類（百分表、千分表、杠桿表手動校準(zhǔn)）；
數(shù)顯半徑規(guī)手動校準(zhǔn)：R5~R700mm；
軸承內(nèi)外圈錐度、溝槽底徑內(nèi)外徑及溝槽寬度、精密零部件的長度尺寸，內(nèi)外徑尺寸測量；
主要技術(shù)指標(biāo)
| 型號 | SJ5100-Prec300（精密測量型） | |
| 測量范圍 | 外尺寸 | 直接測量：0~340mm |
| 內(nèi)尺寸 | 比較測量：5~200mm（配置比較測量環(huán)規(guī)） | |
| 外尺寸示值誤差 | ≤±（0.2+L/1000）μm，其中：L為被測長度，單位：mm | |
| 內(nèi)尺寸重復(fù)性(2S或2δ) | ≤0.1μm | |
| 內(nèi)尺寸重復(fù)性(2S或2δ) | ≤0.2μm（使用測鉤）≤0.3μm（使用內(nèi)測裝置） | |
| 分辨力 | 0.01μm（可選0.1μm、1μm） | |
| 測力 | 內(nèi)測裝置傳感器測力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N、主測力1~10N手動連續(xù)可調(diào) | |
| 測量最大直徑 | 環(huán)規(guī)200mm（標(biāo)配） 、塞規(guī)250mm（標(biāo)配） | |
| 儀器尺寸 | 1400*400*450mm | |
| 儀器重量 | 150kg | |
五軸工作臺 | 型號 | ST-30.1(標(biāo)配) |
| Z軸 | 0~50mm | |
| Y軸 | ±25mm | |
| X軸浮動 | ±10mm | |
| Z軸旋轉(zhuǎn) | ±3° | |
| Y軸擺動 | ±3° | |
| 負(fù)載 | 50kg | |
| 臺面尺寸 | 350*25mm |
性能特點(diǎn)
1.全程直接測量：
SJ5100系列光柵尺測長機(jī)采用進(jìn)口高精度長玻璃光柵尺作為長度方向定位，可進(jìn)行高精度全行程直接測量。
2.高精度、高穩(wěn)定性：
1)高精度光柵測量系統(tǒng)，分辨力達(dá)到0.01μm，測量精度高；
2)精密研磨導(dǎo)軌系統(tǒng)導(dǎo)軌直線度高，材料耐磨性好、保證系統(tǒng)高精度穩(wěn)定可靠的工作；
3)進(jìn)口特殊材料制作的高剛性、無變形測桿，保證測試數(shù)據(jù)的高精度真實(shí)采集；
4)采用大理石基座，通過有限元分析優(yōu)化儀器基座結(jié)構(gòu)保障幾十年穩(wěn)定不變形，高剛性大理石底座結(jié)構(gòu)保證了儀器在頭座及工作臺在測量移動過程中幾乎不產(chǎn)生變形，儀器受外界震動干擾小，保證儀器的長期穩(wěn)定可靠性；
5)采用緊湊型摩擦驅(qū)動結(jié)構(gòu)，移動摩擦驅(qū)動力小，保證了頭座移動過程中的穩(wěn)定性。
3.雙向恒測力：
1) 特殊傳感器雙向恒測力系統(tǒng)，減小了測力對測量結(jié)果的影響，保證了高的系統(tǒng)測量精度；
2) 測力較大范圍的連續(xù)可調(diào)；
3) 非砝碼加載，測力傳感器原理避免了儀器臺面不水平及周圍環(huán)境振動帶來的測力誤差。
