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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>規(guī)則標(biāo)準(zhǔn)>SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)模型分析及應(yīng)用

SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)模型分析及應(yīng)用

2011-08-01 | pdf | 550 KB | 次下載 | 免費(fèi)

資料介紹

?SECS/GEM是半導(dǎo)體自動化生產(chǎn)中廣泛采用的一個行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。首先介紹了SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)的整體框架,并分析了其行業(yè)發(fā)展?fàn)顩r,然后依次說明了SECSⅠ/Ⅱ、GEM、HSMS各個分層標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)據(jù)報文格式、傳輸控制模型、狀態(tài)轉(zhuǎn)換模型以及相互間的通信控制方式等,最后分析了該標(biāo)準(zhǔn)在我國半導(dǎo)體自動化生產(chǎn)中的應(yīng)用狀況。實(shí)踐表明,SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計嚴(yán)謹(jǐn),適應(yīng)面廣,在我國半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用前景廣闊。

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