在线观看www成人影院-在线观看www日本免费网站-在线观看www视频-在线观看操-欧美18在线-欧美1级

電子發燒友App

硬聲App

0
  • 聊天消息
  • 系統消息
  • 評論與回復
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學習在線課程
  • 觀看技術視頻
  • 寫文章/發帖/加入社區
會員中心
电子发烧友
开通电子发烧友VIP会员 尊享10大特权
海量资料免费下载
精品直播免费看
优质内容免费畅学
课程9折专享价
創作中心

完善資料讓更多小伙伴認識你,還能領取20積分哦,立即完善>

3天內不再提示
電子發燒友網>電子資料下載>傳感與控制>硅片傳輸定位機器人的設計

硅片傳輸定位機器人的設計

2009-02-07 | rar | 322 | 次下載 | 3積分

資料介紹

本文針對大直徑硅片的高速自動化生產對硅片的高效、高精度、高可靠性傳輸要求,確定基于3 自由度的R-θ型硅片傳輸定位機器人方案,設計了大直徑硅片傳輸定位機器人系統。在設計過程中,通過采用基于絲杠花鍵軸的升降旋轉機構、采用周轉輪系傳遞臂體的伸縮動力等措施,解決了現有同類傳輸機器人系統中存在的剛性低、結構復雜等問題。此外,本文通過運動學分析證明了徑向伸縮部件的直線運動軌跡;利用拉格朗日的分析力學的方法對該部件的模型進行了動力學分析,得出動力矩方程。調試結果表明,該機器人的徑向伸縮運動的直線精度達到了使用要求。
關鍵詞: 硅片傳輸機器人;機構;運動學分析;動力學分析

Abstract: To satisfy the high efficiency, high precision and high reliability requirement
of transfering and positioning the large-diameter silicon slices in high speed wafer
manufacturing , the R-θtype wafer robot based on 3 DOF is adopted, and the wafer robot is
designed. In the design, the rolling ball screw & the ball spline pair are used as actuating
mechanism in the up-down rotary component. The epicyclic gear train is adopted to drive
the arm to move along line. The new design improves the rigidity of structure of the system
and simplify the mechanism. Furthermore,the kinematic of the linear mechanism of radial
stretch component is analyzed to prove its moving track which moves along line. The model
of the componet is analyzed with Largrange method to achieve the equation of drive torque.
The testing shows that the line accuracy of radial linear stretch component satisfy the
parctical requirement.
Keywords:Wafer robot;Mechanism;Kinematics analysis;Dynamic analysis

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉

下載該資料的人也在下載 下載該資料的人還在閱讀
更多 >

評論

请按住滑块,拖动到最右边
了解新功能

查看更多

广告

下載排行

本周

  1. 1AN-1267: 使用ADSP-CM408F ADC控制器的電機控制反饋采樣時序
  2. 1.41MB   |  5次下載  |  免費
  3. 2AN158 GD32VW553 Wi-Fi開發指南
  4. 1.51MB   |  2次下載  |  免費
  5. 3Multisim的上百個仿真實例資料合集
  6. 12.34 MB   |  1次下載  |  10 積分
  7. 4嵌入式軟件開發符合ISO 26262 功能安全標準
  8. 1.61 MB  |  1次下載  |  免費
  9. 5AN148 GD32VW553射頻硬件開發指南
  10. 2.07MB   |  1次下載  |  免費
  11. 6PZT驅動開關電路
  12. 0.09 MB   |  1次下載  |  免費
  13. 7選擇DSP處理器ADSP-2101與DSP16A的注意事項
  14. 728.91KB   |  次下載  |  免費
  15. 8EE-23:AD1847/ADSP-2181環回示例,使用單個索引寄存器實現SPORT自動緩沖
  16. 22.82KB   |  次下載  |  免費

本月

  1. 1ADI高性能電源管理解決方案
  2. 2.43 MB   |  452次下載  |  免費
  3. 2免費開源CC3D飛控資料(電路圖&PCB源文件、BOM、
  4. 5.67 MB   |  139次下載  |  1 積分
  5. 3基于STM32單片機智能手環心率計步器體溫顯示設計
  6. 0.10 MB   |  132次下載  |  免費
  7. 4美的電磁爐維修手冊大全
  8. 1.56 MB   |  24次下載  |  5 積分
  9. 5如何正確測試電源的紋波
  10. 0.36 MB   |  19次下載  |  免費
  11. 6感應筆電路圖
  12. 0.06 MB   |  10次下載  |  免費
  13. 7LZC3106G高性能諧振控制器中文手冊
  14. 1.29 MB   |  9次下載  |  1 積分
  15. 8萬用表UT58A原理圖
  16. 0.09 MB   |  9次下載  |  5 積分

總榜

  1. 1matlab軟件下載入口
  2. 未知  |  935121次下載  |  10 積分
  3. 2開源硬件-PMP21529.1-4 開關降壓/升壓雙向直流/直流轉換器 PCB layout 設計
  4. 1.48MB  |  420062次下載  |  10 積分
  5. 3Altium DXP2002下載入口
  6. 未知  |  233088次下載  |  10 積分
  7. 4電路仿真軟件multisim 10.0免費下載
  8. 340992  |  191367次下載  |  10 積分
  9. 5十天學會AVR單片機與C語言視頻教程 下載
  10. 158M  |  183335次下載  |  10 積分
  11. 6labview8.5下載
  12. 未知  |  81581次下載  |  10 積分
  13. 7Keil工具MDK-Arm免費下載
  14. 0.02 MB  |  73810次下載  |  10 積分
  15. 8LabVIEW 8.6下載
  16. 未知  |  65988次下載  |  10 積分
主站蜘蛛池模板: 国产馆精品推荐在线观看 | 免费网站黄成人影院 | 日本三级在线播放线观看2021 | 免费国产午夜高清在线视频 | 亚洲天堂电影在线观看 | 国产成人高清精品免费5388密 | 99久久99久久| 国产四虎 | 寡妇一级a毛片免费播放 | 欧美成人影院 | 91寡妇天天综合久久影院 | 97青青| 欧美人成一本免费观看视频 | 国产日本三级在线播放线观看 | seetube18日本第一次 | 久久国产乱子伦精品免费午夜 | 毛片综合| 国产亚洲精品成人一区看片 | 久久艹免费视频 | 人人看人人添人人爽 | 色噜噜狠狠色综合欧洲selulu | 激情五月婷婷在线 | 五月激情综合网 | 91视频观看 | 四虎网址大全 | 九七婷婷狠狠成人免费视频 | 人阁色第四影院在线观看 | 久久国产精品视频 | 精品欧美小视频在线观看 | 久久综合操 | 天天色综合1| a成人| 成人精品一区二区不卡视频 | 国产精品久久久久久久久免费观看 | 免费人成网ww44kk44 | 亚洲人成网站色7799在线播放 | 午夜欧美在线 | 综合色99 | 欧美精品 在线播放 | 国产婷婷色一区二区三区深爱网 | 天堂网在线视频 |