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機電系統（MEMS）將機械和電子元件整合在微米級小型結構中。運用半導體與微製程技術，透過微機械加工將所有電子元件、感測器和機械元件整合至一片硅基板。MEMS系統的主要元件是機械單元、感測機制以及特定應用積體電路（ASIC）或微控制器。本文簡要介紹MEMS加速度計感測器和陀螺儀，并探討其工作塬理、感測機制以及目前市場上多樣化的應用，以及對我們日常生活深遠的影響。
MEMS慣性感測器
MEMS感測器在許多應用裝置中沿一個或多個軸向測量線性加速度，或者環繞一個或多個軸的角速度作為輸入以控制系統（如圖1）。
圖1：轉角運動與線性運動
MEMS加速度計感測器通常利用位置測量介面電路測量物體的位移，然后用類比數位轉換器（ADC）將測量值轉換為數位電子訊號，以便進行數位處理;陀螺儀則測量物體因為柯氏力加速（Coriolis acceleration）而產生的共振與位移。
加速度計工作塬理
根據牛頓第二定律，物體加速度（m/s2）與受到的合力（N）成正比，與其質量（kg）成反比，而加速度方向與合力相同。
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