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采用微機電系統（ MEMS） 犧牲層技術制作的壓力傳感器具有芯片尺寸小，靈敏度高的優勢，但同時也帶來了提高過載能力的難題。為此，利用有限元法，對犧牲層結構壓阻式壓力傳感器彈性膜片的應力分布進行了靜態線性分析和非線性接觸分析。通過這兩種分析方法的結合，準確的模擬出過載狀態下傳感器的應力分布。在此基礎上給出了壓力傳感器的一種結構設計方法，從而可使這種壓力傳感器過載保護能力提高 180% ～ 220% 。
犧牲層結構壓力傳感器是指彈性膜片利用犧牲層技術制作而成的壓力傳感器，結構示意圖如圖 1所示，其中 AB（ A‘B’） 為膜片寬度 a，AA‘（ BB’）為膜片長度 b，H1 為膜片厚度，H2 為犧牲層厚度。
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