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介紹了D07 系列流量控制器的工作原理以及Pro tel DXP 在質量流量控制器產品開發中的應用。 提出了用Pro tel DXP 進行原理圖設計、仿真分析、印刷電路板設計的一體化解決方案。 最后通過一個應用實例給出了印制板的設計流程、設計規則及注意事項.
本文所設計的D07 系列流量控制器屬于一種工業自動化儀表， 可以對各種氣體進行精確的測量和控制， 大量應用于半導體及集成電路生產線上的擴散、氧化、外延、CVD 等離子刻蝕等工序設備中。 目前的設計方法主要是采用傳統的Pr otel 設計、制版、焊接和調試， 各個環節分步進行， 設計效率低， 可靠性差， 故障檢測困難。 采用Protel DXP 一體化方法可以將上述各個設計環節一次完成， 極大地提高了設計效率和可靠性， 有很好的推廣價值.
如圖1 所示， 數字流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥和放大控制電路板等部件組成。 氣體通過質量流量控制器時， 大部分氣體通過分流器， 僅有少量氣體流過流量傳感器。 分流器由很多細管粘接而成， 作用是使氣體通過時處于層流狀態， 保證通過分流器的氣體與通過傳感器的氣體成一定比例。 流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理， 如圖2 所示。 當無氣體通過傳感器的傳感管時， 惠斯頓電橋上下游電阻相等， 輸出的電壓信號為零; 當有氣體通過傳感管時， 氣體將傳感管上游的熱量帶到下游， 上下游溫度的變化會使傳感管上下游的熱敏電阻絲阻值發生改變， 從而可以使電橋輸出與流量相關的電壓信號.
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