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MEMS壓力傳感器相關(guān)基礎(chǔ)及應(yīng)用

2021-03-11 | rar | 0.08 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  MEMS壓力傳感器是具有電源接口電路、執(zhí)行器、微型傳感器信號處理的微型的機電系統(tǒng)。它可以使用在制作工藝和電路設(shè)計,低成本而高精度地進行大量的生產(chǎn)。其實傳統(tǒng)的壓力傳感器是在當(dāng)金屬彈性體受到外力的作用而導(dǎo)致變形的時候,經(jīng)過機械量的彈性的變形,然后待電量轉(zhuǎn)換之后再輸出,因此,MEMS壓力傳感器的優(yōu)越性有很多,尺寸很小,性價比很高。它主要分為兩種:硅電容式和硅壓阻式。

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