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MEMS靜電執(zhí)行光開關(guān)的設計與實驗

2009-11-16 | rar | 223 | 次下載 | 3積分

資料介紹

介紹了一種基于靜電執(zhí)行的自對準型垂直鏡面微機械光開關(guān),該光開關(guān)由垂直反射鏡面、懸臂梁、光纖定位槽等組成。微反射鏡和V型光纖定位槽的自對準由同一塊掩膜板實現(xiàn)。微反射鏡和V字型光纖槽通過對(100)單晶硅的各向異性腐蝕實現(xiàn)。論文給出光開關(guān)的結(jié)構(gòu)設計,并實驗驗證了上述自對準光開關(guān)的加工工藝。
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