利用暗場成像原理，研制成功一套應(yīng)用于大型激光裝置的光學(xué)元件損傷在線檢測裝置，并在多程放大系統(tǒng)上進行了實驗研究。與傳統(tǒng)的檢測手段相比，該檢測裝置可以實現(xiàn)對光學(xué)系統(tǒng)的在線檢測，并可對損傷點的圖像進行分析處理，最后提出通過減小像差和擴大檢測范圍的方法來改進該裝置的檢測效果.

　　在大型激光裝置中，光束因非線性效應(yīng)而產(chǎn)生自聚焦現(xiàn)象。自聚焦將導(dǎo)致光束最終形成高強度的細絲，從而對裝置中的光學(xué)元件造成損傷，如光學(xué)元件表面膜層被破壞、內(nèi)部形成絲狀裂紋等［1～3 ］ 。這些損傷會產(chǎn)生極大的危害，其主要表現(xiàn)在以下幾個方面： （1） 光束質(zhì)量下降; （2） 在損傷點產(chǎn)生的熱效應(yīng)會造成光學(xué)元件的爆炸;

　　（3） 由于光束在損傷點的衍射造成其它光學(xué)元件的損傷等 。以前對于光學(xué)元件損傷的檢測，主要利用非激光光源照明并靠人眼來觀測，其缺點是費時費力，檢測效率低，且有很大的不確定性。利用光學(xué)元件損傷在線檢測裝置，可以對整個光學(xué)系統(tǒng)進行在線檢測，并可對損傷點的圖像進行存儲分析。

　　通常，光學(xué)元件損傷在線檢測裝置采用暗場成像技術(shù)，以提高系統(tǒng)的分辨率與圖像的對比度。所謂暗場成像，就是用主動式光源照明被檢的光學(xué)元件，如光學(xué)元件存在損傷，則損傷點會產(chǎn)生散射光，利用成像光學(xué)系統(tǒng)接收損傷點產(chǎn)生的后向散射光，則可在暗背景下觀察到明亮的損傷圖像。如被檢測光學(xué)元件無損傷，則視場總是暗場。為了提高光束傳輸效率，照明光源的波長一般與被檢光路的工作波長接近或相同。