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電子發燒友網>電子資料下載>電子教材>電子級多晶硅的生產工藝

電子級多晶硅的生產工藝

2010-09-26 | rar | 281 | 次下載 | 免費

資料介紹

 就建設1 000 t 電子級多晶硅廠的技術進行了探討。對三氯氫硅法、四氯化硅法、二氯二氫硅法和硅
烷法生產的多晶硅質量、安全性、運輸和存貯的可行性、有用沉積比、沉積速率、一次轉換率、生長溫度、電
耗和價格進行了對比; 對還原或熱分解使用的反應器即鐘罩式反應器、流床反應器和自由空間反應器也進行了
比較。介紹了用三氯氫硅鐘罩式反應器法生產多晶硅三代流程。第三代多晶硅流程適于1 000 t/ a 級的電子級多
晶硅生產。
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