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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子教材>光學(xué)光刻中的離軸照明技術(shù)

光學(xué)光刻中的離軸照明技術(shù)

2010-11-11 | rar | 131 | 次下載 | 免費(fèi)

資料介紹

提要:本文討論了光學(xué)光刻中的離軸照明技術(shù)。主要從改善光刻分辨率、增大焦深、提高空間像對(duì)比度等方面對(duì)離軸照
明與傳統(tǒng)照明作了比較,并用 仿真軟件進(jìn)行了模擬分析。研究表明,離軸照明是一種很有效的光刻分辨率增強(qiáng)技術(shù)
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