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針對硅在 KOH 中的各向異性腐蝕提出了一個新的物理模型。 此模型從微觀角度出發， 根據實際的腐蝕化學反應過程確定了若干微觀狀態， 提出了反映腐蝕特性的若干微觀參數。 將腐蝕溫度、濃度等對腐蝕速率的影響也反映了進去。 計算結果與實驗結果進行了對比， 表明此模型在解釋硅在 KOH 中各向異性腐蝕特性等方面具有一定的合理性。
微電子機械系統（M EM S） 的發展令人矚目， 它是在微電子工藝基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。 M EM S 的三維結構， 突破了集成電路平面結構的限制， 從而拓寬了M EM S 的實際應用領域。 為此， 在集成電路平面工藝的基礎上， 需要加上特有的體加工工藝技術來實現M EM S的三維結構， 例如各向異性腐蝕技術［ 1 ］等。
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