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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>工控技術(shù)>單晶硅加工流程及其拋光硅片工藝流程

單晶硅加工流程及其拋光硅片工藝流程

2017-10-20 | rar | 0.3 MB | 次下載 | 免費(fèi)

資料介紹

  加工流程;

  單晶生長一切斷一外徑滾磨一平邊或V 型槽處理一切片一倒角一研磨一腐蝕一拋光一清洗一包裝

  切斷: 目的是切除單晶硅棒的頭部、尾部及超出客戶規(guī)格的部分,將單晶硅棒分段成切片設(shè)備可以處理的長度,切取試片測量單晶硅棒的電阻率含氧量。

  切斷的設(shè)備: 內(nèi)園切割機(jī)或外園切割機(jī)

  切斷用主要進(jìn)口材料: 刀片

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