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一、熱循環的通暢
熱循環就是氣流的循環，從氬氣輸進到被真空泵抽走的一個循環過程。它的外在顯示值即爐壓（真空泵的抽速與氬乍輸入量的平衡值） 組成部分，1氬氣調節整個單晶硅棒拉制中熱循環的流量和流速，是在拉晶過程中不可缺少的保護氣體。（屬性惰性i體特點不易燃燒） 2 真空泵穩壓持續抽走爐內的體揮發物，保持爐內真空平衡。由這兩個系統所組成熱循環系統的作用： 有效的帶走爐內沉積的揮發物，防止石墨器件及熱場的氧化增加使用壽命。增強成晶硅溶面與內溶液溫度差提高成晶速度。降低單晶硅棒在生產過程中的氧碳含量等，從而提高公司的產品質量。
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