資料介紹
電子集成微系統(tǒng)技術是微電子技術和系統(tǒng)技術發(fā)展到新歷史階段的必然結果,也是應用創(chuàng)新與技術創(chuàng)新融合發(fā)展的典范。電子集成微系統(tǒng)概念自上世紀九十年代出現以來,就以其強大的生命力強力推動專業(yè)整合和產業(yè)融合,被公認為21世紀的革命性技術之一,已經并將越來越顯著地改變甚至顛覆人類社會生活方式。
早起的微系統(tǒng)是指微機電系統(tǒng)(MEMS)。MEMS是隨著微細加工技術和超精密加工技術發(fā)展起來的,其涵義較現在的“微系統(tǒng)”概念相對狹窄。隨著MEMS技術、微電子技術的不斷發(fā)展,又開始滲透擴展,不僅系統(tǒng)中集成的機械元件數量和體現計算能力的晶體管數量大幅增加,而且開始集成生物、光學、軟件等多種技術或元件。
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