資料介紹
為了闡釋空氣靜壓導軌氣膜間隙處在微小尺度所體現的特性,引入努森數( Kn),計算了不同工況下氣膜內壓力和不同氣膜厚度下Kn數的變化關系。引入支撐區氣膜分層假設,與分子動力學相結合,對氣膜內不同流態層的剛度進行了實驗和分析。通過ANSYS仿真和實驗數據相結合得出了結論:氣膜內稀薄效應的增強,可以一定程度上提高氣浮支撐的靜承載能力。氣浮支撐的剛度特性和氣膜內部分層情況有關:以分子碰撞運動為主的稀薄層主要起容性效應,實現分子間動量的傳遞和轉化,因此該層所體現出來的剛度較差;以慣性力驅動的連續流層內部分子運動比較穩定,特別是在垂直方向不存在顯著的動能和壓力能之間的轉化,因此該層的剛度特性較強。實驗證明,氣膜厚度在1 - 10 um時,氣膜的剛度先增大后減小,也間接論證了靜壓支撐的剛度特性主要由氣膜內連續流層決定。
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