資料介紹
增強(qiáng)型絕緣柵場效應(yīng)管
圖6-38是N溝道增強(qiáng)型絕緣柵場效應(yīng)管示意圖。
在一塊摻雜濃度較低的P型硅襯底上,用光刻、擴(kuò)散工藝制作兩個高摻雜濃度的N+區(qū),并用金屬鋁引出兩個電極,稱做漏極D和源極S如圖6-38(a)所示。然后在半導(dǎo)體表面覆蓋一層很薄的二氧化硅(SiO2)絕緣層,在漏-源極間的絕緣層上再裝一個鋁電極,稱做柵極G。另外在襯底上也引出一個電極B,這就構(gòu)成了一個N溝道增強(qiáng)型MOS管。它的柵極與其他電極間是絕緣的。圖6-38(b)所示是它的符號。其箭頭方向表示由P(襯底)指向N(溝道)。
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耗盡型絕緣柵場效應(yīng)管
從結(jié)構(gòu)上看,N溝道耗盡型場效應(yīng)管與N溝道增強(qiáng)型場效應(yīng)管基本相似,其區(qū)別僅在于當(dāng)柵-源極間電壓UGS= 0時,耗盡型場效應(yīng)管中的漏-源極間已有導(dǎo)電溝道產(chǎn)生,而增強(qiáng)型MOS管要在UGS≥UT時才出現(xiàn)導(dǎo)電溝道。原因是制造N溝道耗盡型場效應(yīng)管時,在SiO2絕緣層中摻入了大量的堿金屬正離子Na+或K+(制造P溝道耗盡型場效應(yīng)管時摻入負(fù)離子),如圖6-42(a)所示,因此即使UGS=0,在這些正離子產(chǎn)生的電場作用下,漏-源極間的P型襯底表面也能感應(yīng)生成N溝道(稱為初始溝道),只要加上正向電壓UDS,就有電流ID。如果加上正的UGS,柵極與N溝道間的電場將在溝道中吸引來更多的電子,溝道加寬,溝道電阻變小,ID增大。反之,UGS為負(fù)時,溝道中感應(yīng)的電子減少,溝道變窄,溝道電阻變大,ID減小。當(dāng)UGS負(fù)向增加到某一數(shù)值時,導(dǎo)電溝道消失,ID趨于零,該管截止,故稱為耗盡型。溝道消失時的柵-源電壓稱為夾斷電壓,用UP表示,為負(fù)值。在UGS=0、UGS》0、UP《UGS《0的情況下均能實(shí)現(xiàn)對ID的控制,而且仍能保持柵-源極間有很大的絕緣電阻,使柵極電流下均能實(shí)現(xiàn)對ID的控制,而且仍能保持柵-源極間有很大的絕緣電阻,使柵極電流為零。這是耗盡型場效應(yīng)管的一個重要特點(diǎn)。
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