低溫多晶硅（Low Temperature Poly-silicon；LTPS，以下以 LTPS 代稱）是平板顯示器領(lǐng)域中的又一新技術(shù)。繼非晶硅（Amorphous-Silicon，以下以 a-Si 代稱）之后的下一代技術(shù)。

　　傳統(tǒng)的非晶硅材料（a-Si）的電子遷移率只有0.5 cm2/V.S，而低溫多晶硅材料（LTPS）的電子遷移率可達50～200 cm2/V.S，因此與傳統(tǒng)的非晶硅薄膜電晶體液晶顯示器（a-Si TFT-LCD）相比，低溫多晶硅 TFT-LCD 具有更高解析度、反應(yīng)速度快、亮度高（開口率 apertureratio 高）等優(yōu)點，同時可以將周邊驅(qū)動電路同時制作在玻璃基板上，達到在玻璃上集成系統(tǒng)（SOG）的目標，所以能夠節(jié)省空間和成本此外，LTPS 技術(shù)又是發(fā)展主動式有機電致發(fā)光（AM-OLED）的技術(shù)平臺，因此 LTPS 技術(shù)的發(fā)展受到了廣泛的重視。

　　一般情況下低溫多晶硅的制程溫度應(yīng)低于攝氏 600℃，尤其對 LTPS 區(qū)別于 a-Si 制造的制造程序“激光退火”（laser anneal）要求更是如此。與 a-Si 相比， LTPS 的電子移動速度要比 a-Si 快100 倍，這個特點可以解釋兩個問題：首先，每個 LTPS PANEL 都比 a-Si PANEL 反應(yīng)速度快；其次，LTPS PANEL 外觀尺寸都比 a-Si PANEL 小。下面是 LTPS 與 a-Si 相比所持有的顯著優(yōu)點： 1、把驅(qū)動 IC 的外圍電路集成到面板基板上的可行性更強； 2、反應(yīng)速度更快，外觀尺寸更小，聯(lián)結(jié)和組件更少； 3、面板系統(tǒng)設(shè)計更簡單； 4、面板的穩(wěn)定性更強； 5、解析度更高，