資料介紹
隨著硅基光子集成技術的發展,需要在不影響光子芯片正常T作的情況下,對集成光路中各通道上的光強進行實時監測,來有效的調整光子集成系統的T作狀態以達到最優系統性能。各種可在硅襯底上單片集成的新型監測光探測器(MPD)成為光電器件領域研究的熱點,但不論這些MPD是基于何種吸收機制(表面態吸收、雙光子吸收、鍺吸收以及雜質能級缺陷態吸收),他們的共同特點是低速直流丁作,微量信號檢測。也就是說,無論檢測光路上光信號的調制速率高低,MPD上得到的只是光功率的平均值,同時進入MPD的光是微量的(例如,僅為檢測光路光功率的萬分之一,MPD上產生的光生電流也是微弱的(納安量級)。MPD光生電流的放大成為后續電子電路中的重要部分。
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