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電子發燒友網>電子資料下載>電源技術>RTP系統簡介與快速熱處理法制備單晶硅太陽能電池

RTP系統簡介與快速熱處理法制備單晶硅太陽能電池

2017-11-07 | rar | 0.3 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  利 用快速熱處理 (RapidThermalProcessing,RTP)技術 ,成功 制備 了單晶硅太 陽 電池 。在三個重要的熱處理環節 (磷擴散制作 P—N結 、熱氧化 、電極燒結 )采用 了快 速熱 處理法 ,電極制作 采用 了絲 網印刷。初步研究 ,用大 面積 的單 晶硅 片制 備出轉換 效率為 11% 、開路 電壓為 564.6mV、短路 電流 密度為 30.7mA/cm~的 太 陽 電 池 。

 RTP系統結構及原理概述

  RTP系統利 用 鹵鎢燈 管 對樣品 進 行 加熱 ,常 規熱處理 爐是 用 電 阻絲 進 行 加 熱 。 鹵鎢 燈 發 出的 光 屬 于可見 光 波段 ,電阻絲 發 出 的光 則 主 要 是 紅 外 波段 的 。常 規擴 散 中 ,擴散 基 于熱 力 學 作 用 而 進 行 ,主 要 靠濃度梯 度 的 作 用 。而 在 RTP擴 散 中 ,因 為 可 見 光波 段的光 的作 用 ,除 了熱 力 學 作 用 外 ,高 能 光 子 效 應 0_也 起著 非 常重要 的 作用 。也 有研究 者 認 為 ,RTP有 氧化 增強 效 應… ,瞬態 增強 效 應 。。 和 場 助 效應 n副等 。一 般來 說 ,在相 同條 件 下 ,RTP的 擴 散 系 數 是 常 規 擴散 的 5倍 以 上 。另 外 ,因 為 RTP系 統 用 鹵鎢 燈 加熱 ,爐 腔 升溫 速率 可達 150℃/s,20秒 內可 以從室 溫升到 目標 溫 度 ;循 環水 冷 壁和 風扇 系統 使 降溫速 率也 很快 ,可 達 到 80℃/s。 整 個熱 處 理 過 程 只需 數 分 鐘 ,可大 大 提高 生 產效率 ,節 省能耗 和熱 預 算 。

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