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微波等離子體技術(shù)具有極其廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域，如等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積、等離子體表面處理以及等離子體刻蝕等。微波電源作為微波等離子體設(shè)備的核心，是激發(fā)與維持微波等離子體的動(dòng)力。它的輸出功率直接決定了等離子體的各項(xiàng)參數(shù)，影響到工藝效果。所以，為了取得良好的工藝效果與穩(wěn)定性，需要設(shè)計(jì)控制器保證微波電源穩(wěn)定可靠的工作。鑒于此，本文基于嵌入式技術(shù)，以C805IF500為控制核心，引入數(shù)字化與光信號(hào)化的測(cè)控電路設(shè)計(jì)微波電源控制器陸-，該控制器包括供電電源部分與測(cè)控部分，通過(guò)優(yōu)化的硬件電路，輔以合適的抗干擾措施，保證了微波電源在控制器作用下可靠工作。
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