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為了提高小流量電液伺服閥疊合量的測量效率，實現(xiàn)疊合量氣動測量過程的自動化，分析了電液伺服閥疊合量氣動測量方法的原理及特點，采用壓力式和流量式氣動測量方法實現(xiàn)閥芯自動對中和疊合量自動精確測量。從機械結構設計和控制系統(tǒng)方案上提出了自動化策略，研制了一套小流量電液伺服閥疊合量氣動測量臺，實現(xiàn)疊合量高精度測量的全過程自動化。通過實驗和工程實踐驗證，該測量臺的疊合量測量精度達到±0.5 um，且重復精度達到±0.5 um。
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