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失效分析是對失效器件的事后檢查，通過失效分析可以驗證器件是否失效，識別失效模式，確定失效機理和失效原因，根據失效分析結論提出相應對策，它包括器件生產工藝，設計，材料，使用和管理等方面的有關改進，以便消除失效分析報告中所涉及到的失效模式或機理，防止類似失效的再次發生。
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