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電子發燒友網>電子資料下載>IC資料>IC中文資料>現代集成電路芯片14nm節點FinFET的制造工藝流程詳細資料說明

現代集成電路芯片14nm節點FinFET的制造工藝流程詳細資料說明

2019-04-10 | docx | 2.95 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  14nm節點FinFET工藝流程。(后柵工藝BEOL+FEOL)

  流程概述:晶圓材料-隔離—淀積多晶硅—芯軸—鰭硬掩膜(“側墻”)—刻蝕形成鰭—雙阱形成—制作臨時輔助柵—補償隔離—LDD注入—側墻主隔離—漏源極形成(應變硅技術)—金屬硅化物—器件與金屬間介質層ILD—置換高k金屬柵—鎢栓—第一層金屬間介質(超低K介質)IMD-1—第一層銅布線—第二層金屬間介質(超低K介質)IMD-2—第二層銅布線。..。..多層布線最上層鋁布線制作壓焊窗口—最上層介質鈍化層(光刻壓焊/測試焊盤)—測試.

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