最近幾年，使用了MEMS技術(shù)的半導(dǎo)體產(chǎn)品的需求及用途大幅增加。MEMS是Micro Electro Mechanical Systems的縮寫，硅電路板上由電路和機(jī)械可活動結(jié)構(gòu)的三維構(gòu)成。使用此結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)將壓力、溫度、加速度這些物理量轉(zhuǎn)換成電氣信號的傳感器，還可實(shí)現(xiàn)提供電氣信號使可動結(jié)構(gòu)體像機(jī)械一樣運(yùn)動的所謂執(zhí)行器功能。 MEMS產(chǎn)品早在1980年就已經(jīng)存在了，與使用了CMOS工藝的一般半導(dǎo)體相比，因?yàn)榫A制成非常復(fù)雜，包裝也很耗功夫，使得工程標(biāo)準(zhǔn)化和低成本變得十分困難，所以只應(yīng)用于限定用途。但是，最近確定了批量生產(chǎn)小型、高性能的MEMS產(chǎn)品的技術(shù)，除了汽車發(fā)動機(jī)控制、醫(yī)療器械、噴墨打印機(jī)這些常用用途，數(shù)碼相機(jī)和智能手機(jī)這寫隨身攜帶的電子產(chǎn)品里也使用了很多的MEMS產(chǎn)品。MEMS產(chǎn)品今后將持續(xù)每年10-15%的增長率，并可預(yù)測在2017年的時候?qū)默F(xiàn)在的9200億日元增長到 17000億日元。（Yole Development公司預(yù)測）株式會社村田制作所在2012年1月份收購了芬蘭的MEMS專業(yè)生產(chǎn)商VTI，VTI改名為Murata Electronics Oy，成為了村田的一員。Murata Electronics Oy運(yùn)用了獨(dú)特的3D-MEMS（三維MEMS）技術(shù)向市場提供了高性能以及高可靠性的MEMS傳感器。

　　所有東西的運(yùn)動都是X、Y、Z軸平行的運(yùn)動和圍繞軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，共表現(xiàn)為6個運(yùn)動組合。村田制作所制作了平行運(yùn)動（平移加速度）傳感的加速度傳感器、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動（角速度）傳感的陀螺儀產(chǎn)品系列，應(yīng)用于依賴高精度運(yùn)動傳感和高可靠性的特征的汽車、輪船的姿態(tài)控制、產(chǎn)業(yè)用裝置的傾斜測定、醫(yī)療用途等等。此次特輯將介紹生產(chǎn)具有高精度、高可靠性的傳感器的獨(dú)特技術(shù)的3D-MEMS和同時兼具高精度和高可靠性的加速度傳感器以及陀螺儀的特征。