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常用的 FBAR 模型有三種：Mason 模型、BVD 和 MBVD 模型。 Mason 模型基于是 FBAR 的物理模型，BVD 和 MBVD 模型是 FBAR 的行為模型 Mason 模型 Mason 模型是一維的物理模型?？梢院芎玫谋碚鞒?FBAR 的每一層物理結(jié)構(gòu)。壓電材料模型可以理解為在非壓電材料的電學(xué)模型（下左圖）上，增加聲 / 電轉(zhuǎn)換電路（下右圖）。在這個(gè)電路基礎(chǔ)上，可以再添加頂電極層、底電極層、支撐層等等，完成整個(gè) FBAR 的等效電路，如下圖。（計(jì)算網(wǎng)絡(luò)終端阻抗的方法用的是微波電路里的傳輸線方程，這讓我倍感親切）
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