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用于集成電路工藝的硅片

2022-06-28 | pdf | 3.97 MB | 次下載 | 4積分

資料介紹

20世紀(jì)60年代,隨著硅襯底取代鍺襯底,同一襯底上的集成允許使用平面工藝。從那時起,幾乎所有的集成電路(I.C.)。在世界上都是建立在硅基板上的。其中一個原因是制造大型無位錯的單晶晶片的可能性。
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