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半導(dǎo)體器件HPM損傷脈寬效應(yīng)機(jī)理分析:HPM能量在半導(dǎo)體器件損傷缺陷區(qū)的熱量沉積以及向周圍材料的熱量擴(kuò)散，是造成半導(dǎo)體器件損傷脈寬效應(yīng)的機(jī)理；分別得到了全脈寬段、長(zhǎng)脈寬段和短脈寬段的損傷經(jīng)驗(yàn)公式，該損傷經(jīng)驗(yàn)公式能較好地對(duì)實(shí)驗(yàn)和理論模擬效應(yīng)數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合。
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