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為了更好地支持微機電系統(MEMS)Top-Down設計流程,針對MEMS仿真中的多能量域與非線性特點,采用鍵合圖場元件與結型結構設計并實現了一個集中參數表達的MEMS鍵合圖仿真元件庫,同時基于該元件庫提出了一種MEMS動態系統建模與仿真方法.采用參數化仿真模型與結構化體系構建的元件庫,為MEMS設計流程中的概念設計階段與系統級設計階段的快速建模與仿真提供了方便,同時元件庫內的所有元件均與MEMS器件級設計中的結構特征具有映射關系,這為用戶需求空間!功能原理空間!結構空間之間的設計空間映射提供了方便.通過一個靜電間隙執行器的系統建模過程與仿真結果,驗證了利用該元件庫進行建模與仿真的有效性.
關鍵詞:微機電元件庫;鍵合圖;建模;仿真;映射
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