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      一種多晶硅還原爐自動(dòng)調(diào)功器硬件系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)

      2010-08-26 | rar | 4580 | 次下載 | 10積分

      資料介紹

      本文首先對(duì)多晶硅硅芯進(jìn)行了多次縮比試驗(yàn)，掌握了多晶硅硅芯在不同環(huán)境條
      件下的電氣特性，然后分析國(guó)內(nèi)外多晶硅的生長(zhǎng)控制技術(shù)優(yōu)缺點(diǎn)，結(jié)合多晶硅的
      生產(chǎn)原理和自身電氣特性，根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)還原爐生產(chǎn)需要，設(shè)計(jì)研發(fā)出多晶硅還原爐
      加熱集成控制系統(tǒng)。
      多晶硅還原爐加熱集成控制系統(tǒng)主要包括預(yù)加熱控制系統(tǒng)和加熱調(diào)功系統(tǒng)兩
      個(gè)部分。多晶硅加熱過(guò)程可以分為三個(gè)階段：預(yù)加熱、持續(xù)加熱和恒溫加熱。
      加熱調(diào)功系統(tǒng)是多晶硅還原爐加熱集成控制系統(tǒng)中最重要的部分，而DSP自
      動(dòng)調(diào)功器是加熱調(diào)功系統(tǒng)的核心部分。
      本論文主要介紹多晶硅還原爐自動(dòng)調(diào)功器的硬件系統(tǒng)設(shè)計(jì)以及設(shè)計(jì)中要解決
      的問(wèn)題。具體內(nèi)容包括以下幾個(gè)方面：
      1、模擬通道部分：
      2、數(shù)字通道部分：
      3、DSP／CPLD部分：
      4、電源部分
      本文所設(shè)計(jì)的DSP自動(dòng)調(diào)功器在實(shí)驗(yàn)室調(diào)試成功后，已有6塊提交工作現(xiàn)場(chǎng)
      使用，現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際使用情況證明本文所設(shè)計(jì)的DSP自動(dòng)調(diào)功器性能上滿足了多晶硅
      還原爐加熱集成控制系統(tǒng)需要，抗干擾能力達(dá)到了工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)運(yùn)行的要求。
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