半導(dǎo)體設(shè)備的可靠性、維修性和可用性
北京七星華創(chuàng)電子公司 董大為
當(dāng)今在半導(dǎo)體設(shè)備采購(gòu)中,需方( Purchaser )除關(guān)注設(shè)備的性能和工藝保證性指標(biāo) (Guaranteed Specifications)外,還普遍關(guān)注設(shè)備的可靠性 (Reliability)、維修性 (Maintainability)和可用性 (Availability).可靠性在國(guó)標(biāo)GB/T 3187－94 中被定義為:產(chǎn)品在規(guī)定的條件下和規(guī)定的時(shí)間區(qū)間內(nèi)完成規(guī)定功能的能力,它常用平均失效間隔時(shí)間MTBF (Mean Time Between Failures)來(lái)表示,MTBF 是指失效間隔時(shí)間的期望。.維修性在上述國(guó)標(biāo)中被定義為:在規(guī)定的條件下并按規(guī)定的程序和手段實(shí)施維修時(shí),產(chǎn)品在規(guī)定的使用條下,保持或恢復(fù)能執(zhí)行規(guī)定功能狀態(tài)的能力,它常用平均修復(fù)時(shí)間MTTR (Mean Time To Repair)來(lái)表示,MTTR是指修復(fù)前時(shí)間的期望。可用性在上述國(guó)標(biāo)中被定義為：在要求的外部資源得到保證的前提下,產(chǎn)品在規(guī)定的條件下和規(guī)定的時(shí)刻或時(shí)間區(qū)間內(nèi)處于可執(zhí)行規(guī)定功能狀態(tài)的能力，它常用設(shè)備能工作時(shí)間 (Up Time)或可用時(shí)間%來(lái)表示。可用時(shí)間是指產(chǎn)品處于可用狀態(tài)的時(shí)間區(qū)間。可用性是產(chǎn)品可靠性,維修性和維修保障性的綜合反映,它與技術(shù)、管理、供方(Supplier)和使用方(User)都有關(guān).因此,要作為一項(xiàng)考核指標(biāo)，應(yīng)進(jìn)行合理的界定。SEMI E10－0304 用設(shè)備在生產(chǎn)中占用的時(shí)間來(lái)確定并計(jì)算設(shè)備的可靠性、維修性和可用性,成為需方和供方統(tǒng)一的、可操作的技術(shù)指標(biāo)。SEMI E10－0304 把設(shè)備所處的時(shí)間分成六類(lèi)見(jiàn)下圖：