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M5525100－1/UM型大角度離子注入機:M5525100－1/UM 型大角度離子注入機可滿足100 納米，8 英寸集成電路制造工藝的要求，適合源漏區的大角度暈、袋、柵閾值調整、阱等注入，可獲得良好的注入均勻性、重復性。M5525100－1/UM 型大角度離子注入機突破了離子注入機設計與制造的關鍵技術，在離子注入機的總體設計與集成、自動化與可靠性設計等核心技術上取得突破。整機包括束線系統、電源系統、靶室系統、輔助系統、控制系統等五大系統。
該設備實現了全自動智能控制及晶片自動傳輸控制，采用單圓片傳送系統及靜電夾持技
術，可實現大角度(0～60°)和零角度注入功能；使用長壽命離子源，大大提高了設備正常
運行時間；對注入束的均勻性和劑量實時監控； 整機配備SMIF 系統，具備適應大生產線的生產效率和高可靠性，完全可替代同類進口設備。
該設備實現了全自動智能控制及晶片自動傳輸控制，采用單圓片傳送系統及靜電夾持技
術，可實現大角度(0～60°)和零角度注入功能；使用長壽命離子源，大大提高了設備正常
運行時間；對注入束的均勻性和劑量實時監控； 整機配備SMIF 系統，具備適應大生產線的生產效率和高可靠性，完全可替代同類進口設備。
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