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微機電系統（MEMS）是當前一個發展極為迅速并涉及多個學科的領域。本文主要介紹了微機電系統的產生與發展過程，討論了它所采用的材料和加工技術、該技術涉及的各個學科，著重闡述了器件的具體分類、結構組成、各類器件的具體特點及其在工程技術中的實際應用，并指出其發展趨勢及對諸多領域的深遠影響。
關鍵詞 MEMS 傳感器 執行器 納米技術 工藝
Abstract ： MEMS is a fast developing field related to many
disciplines at present times. The origin and development
procedure of MEMS is mainly introduced in this paper, adopted
material, processing technology and related disciplines are
discussed, the classification,structure and features of device and
its practical application in engineering and technology are also
expounded in detail,and its developing tendency and profound
influence on many disciplines are also pointed out.
Key Words： MEMS Transducer Execute unit Nano
technology Technics
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