資料介紹
絕緣體上硅(Silicon-on-Insulator,SOI )技術是一種被廣泛應用于抗輻射加固設計的技術。該技術相對于體硅技術而言,最大的改進在于增加了埋氧層,將體硅中的體區與襯底隔離開,形成介質隔離從而杜絕閂鎖效應和總劑量輻射效應引發的器件間漏電。由于SOI 襯底-埋氧層-頂層硅: 三部分形成了新的MOS 結構,通常也稱為背柵晶體管。這種埋氧層的存在使得基于SOI 技術的晶體管在抗單粒子、瞬態輻射等效應時有著天然的優勢B。然而,埋氧層的存在也增加了總劑量輻射效應的敏感區域,使得SOI 的總劑量效應變得更嚴重。通過電路設計驗證加固效果時需要反復對電路進行輻射實驗,大大增加了抗輻射電路開發的成本,開發周期十分漫長。針對總劑量效應建立可用于電路仿真的SPICE 模型,是一種較為迅速的加固設計開發方法。已有的研究主要針對SOI 器件的前柵柵氧與隔離場氧建立總劑量模型,缺少針對埋氧層進行的建模。
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