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摘要：論述了銅互連取代鋁互連的主要考慮，介紹了銅及其合金的淀積、銅圖形化方法、以及銅與低介電常教材料的集成等。綜述了ULSI片內銅互連技術的發展現狀。
關鍵詞；集成電路；銅互連；銅淀積；銅圖形化；ULSI
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