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      微機電系統特點及加工技術

      2018-01-24 | rar | 0.79 MB | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      　　MEMS是指微型化的器件或器件的組合，把電子功能與機械的、光學的或其他的功能相結合的綜合集成系統，采用微型結構，使之在極小的空間內達到智能化的功效。MEMS是一門多學科交叉的新興學科，涉及精密機械、微電子材料科學、微細加工、系統與控制等技術學科和物理、化學、力學、生物學等基礎學科。它將在21世紀的信息、通信、航空航天、生物醫療等多方面獲得重大突破，從而對世界科技、經濟發展和國防建設帶來深遠響，德國Weissler把MEMS稱為系統工業發展所需要的‘維生素”。MEMS具有以下幾個非約束性的特征：

      　　（l） 尺寸在毫米到微米范圍內，區別于傳統的宏觀機械：

      　　（2） 以硅微加工技術為主要的制造技術：

      　　（3） 在無塵室大批量、低成本生產，使性價比比傳統“機械”制造技術大幅度地提高；

      　　（4） MEMS中的機械不限于力學中的機械，它代表一切具有能量轉化、傳輸等功能的效應，包括力、熱、光、磁、化學、生物等效應：

      　　（5） MEMS的目標是“微機械”與IC（ Integrated circle）結合的微系統，并向智能化方向發展。
      ?

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