資料介紹
提出了一種由非本征法布里-珀羅干涉結構構成的波紋銀膜光纖傳聲器。在波紋的作用下,通過釋放膜片的初始應力,提高了傳感器的靈敏度。提出了一種簡單的“灰度曝光”方法來制作波紋。實驗結果表明,制備的波紋膜(CD)的機械靈敏度為52nm/pa,是相同參數下平面膜的兩倍。并對所制備的傳聲器的其他特性進行了詳細的測試。該方法具有靈敏度高、簡單、成本低等優點,有望在弱聲傳感領域得到應用。
光纖傳聲器(OFM)通常采用基于振膜的非本征法布里-珀羅干涉測量(EFPI)結構,以其分辨率高、重量輕、體積小等優點,在聲學測量中受到越來越多的關注。]當受到入射聲作用時,振膜會振動并調節OFM F-P腔的長度。作為OFM的基石,需要高機械和光學質量的振動膜來確定傳感器的性能。到目前為止,已經使用了幾種彈性材料來感應中的壓力。硅是Nd硅是最早采用的振動膜材料,但用常規的微機械加工方法很難制備厚度小于1μm的大薄膜,近年來對二維層狀材料進行了研究。
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